![]() |
規(guī)格型號:
PLATO;
PLATOM;
功能特色:
1. 全自動機臺,全方位展示晶圓的PL和厚度mapping;LED行業(yè)的全自動機型市占率遙遙領先;
軟件設計完全來自于十幾年積累的韓國知名量產廠的EPI生長經驗,技術成熟,功能強大;2. 首創(chuàng)PL+膜厚+反射率同時量測,獨有的PL+反射率+膜厚+PD的同時量測,共8項參數(shù)及即時的mapping,用戶可在不增加量測時間的前提下得到更多可靠的參考數(shù)據(jù)全面分析Epi-wafer的狀況;
3. 高精度的光電探測器PD,獨有的專業(yè)設計;測試光強時非常準確,無論是單片重復測試還是在多機臺測試;
4. 獨有的Z-Stage Adjustment功能,可根據(jù)需求調整量測臺的高度,提供激發(fā)光強最佳量測光學平面;
5. 兼容2inch、4inch以及6inch或者8inch的Epi-wafer測試,無需升級;3組cassette,最多可一次性測試75片;
6. 根據(jù)客戶需求,可安裝三組不同的激光器,375nm(默認)/405nm/532nm;
7. 自定義測試步進,最低0.5mm每步進,可以去除任意范圍的邊緣進行分析; 可以輸出excel、csv、txt格式的數(shù)據(jù),并且輸出的格式可由用戶進行編輯;
8. 一臺全自動PL能滿足10臺以上MOCVD需求;
9. 具備手動上下片的功能,可以簡單進行不規(guī)則片的測試,以及在機械手出現(xiàn)緊急情況時候,切換成手動模式使用;
10. 強大的分析軟件PL Viewer,并提供終身的免費升級,可以在任意PC機上獨立安裝并進行數(shù)據(jù)的分析;
11. 獨有的同時拉線分析3片wafer的mapping圖功能,客戶可以同時比較任意三個mapping圖的同一方向的參數(shù)分布情況;獨有的在mapping中拉線疊圖功能,經過的每個點均顯示波形圖,更直觀和真實的反應每個點的波形并形成疊圖的直觀比較模式;整RUN mapping數(shù)據(jù)load 入分析軟件,可以快速方便分析各點數(shù)據(jù)和整片情況;
12. 強大的Susceptor designer 功能,可以滿足目前所有的MOCVD的類型;
13. 成熟的Bowing量測功能,獨有的量測原理,遠比對手研發(fā)中的原理精確,并已在各量產廠成熟應用;
14. 可為分析判別PSS的表面質量提供數(shù)據(jù)參考;
15. 成熟的Laser mark應用,可在不影響設備產能前提下為Epi-wafer進行激光打碼;
16. 獨有的一次操作中根據(jù)不同的cassette選擇不同的recipe進行量測的功能,實現(xiàn)了一次操作即可同時完成不同爐或者不同批次Epi-wafer的測試,非常實用和方便;
17. 量測頁面可即時監(jiān)測激光的輸出功率,可隨時觀察激光源的輸出情況并進行調整;
18. 首創(chuàng)的可以一次load整爐Epi-wafer的數(shù)據(jù),進行整爐Epi-wafer的mapping圖的對比與分析;可以進行多Run的mapping數(shù)據(jù)疊圖,直觀反饋run to run的變化。
EtaMax 客戶名錄
中國·大陸市場 | |||||
客戶名稱 | 數(shù)量 | 型號 | 客戶名稱 | 數(shù)量 | 型號 |
三安光電 | 3臺 | 全自動 | 德豪潤達 | 3臺 | 全自動 |
合肥藍光 | 3臺 | 2臺全自動 1臺手動型 | 上海藍光 | 1臺 | 手動型 |
山東冠銓 | 2臺 | 全自動 | 晶能光電 | 2臺 | 全自動 |
清華同方(南通廠) | 2臺 | 全自動 | 中谷光電 | 1臺 | 手動型 |
真明麗 | 1臺 | 全自動 | 長治華尚 | 1臺 | 全自動 |
華磊光電 | 4臺 | 3臺全自動 1臺手動 | 漢晶光電 | 1臺 | 全自動 |
揚州中科 | 2臺 | 自動型 | 蘇州聚燦 | 1臺 | 手動型 |
晶瑞半導體 | 1臺 | 自動型 | 漢萊光電 | 1臺 | 手動型 |
AIXTRON 蘇州中心 | 1臺 | 自動型 | 清華同方2期 | 2臺 | 全自動 |
德豪潤達(揚州廠) | 2臺 | 自動型 | 晶能光電(常州) | 1臺 | 全自動 |
晶旺大陸廠 | 1臺 | 自動型 | |||
海外歐美市場 | |||||
AIXTRON 德國中心 | 2臺 | 全自動 | VEECO | 3臺 | 3臺全自動 |
OPTOGAN | 1臺 | 手動型 | |||
中國·臺灣市場 | |||||
新世紀光電 | 6臺 | 全自動 | 奇力光電 | 1臺 | 全自動 |
泰谷光電 | 3臺 | 全自動 | 鼎承光電 | 1臺 | 全自動 |
聯(lián)勝光電 | 3臺 | 2臺全自動 1手動型 | 晶發(fā)光電 | 1臺 | 全自動 |
晶旺光電 | 1臺 | 全自動 | 光磊 | 1臺 | 全自動 |
廣稼 | 1臺 | 全自動 | 鉅新 | 1臺 | 手動型 |
臺灣國立中興大學 | 1臺 | 手動型 | 光鋐 | 1臺 | 自動型 |
韓國市場 | |||||
三星(Samsung) | 8臺 | 全自動 | SEMCO | 1臺 | 全自動 |
LG | 10臺 | 全自動 | Epivalley | 1臺 | 全自動 |
LG-IT | 7臺 | 6臺全自動 1臺手動 | KETI | 1臺 | 手動型 |
LG-E | 1臺 | 手動型 | KOPTI | 1臺 | 全自動 |
Seoul semiconductor | 7臺 | 全自動 | Prowtech | 1臺 | 手動型 |
THELEDS | 2臺 | 全自動 | Sesan | 1臺 | 手動型 |
Worri | 1臺 | 全自動 | Knowledge-On | 1臺 | 手動型 |
IIjin | 1臺 | 全自動 | Epileds | 1臺 | 手動型 |
Epiplus | 1臺 | 全自動 | Semimerterials | 1臺 | 全自動 |
Wavesqure | 1臺 | 全自動 | IPS | 1臺 | 手動型 |