產(chǎn)品詳情
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文生真空烤盤爐
功能簡介：
在真空高溫環(huán)境下，調(diào)節(jié)升溫條件、氮?dú)夥謮?、氮?dú)浠旌蠚獗壤?分壓、處理溫度等各項制程參數(shù)，清除沉積于石墨盤上的各種有機(jī)金屬化合物
規(guī)格型號：
HBM650G；
HBM1000G；
在真空高溫環(huán)境下，調(diào)節(jié)升溫條件、氮?dú)夥謮?、氮?dú)浠旌蠚獗壤?分壓、處理溫度等各項制程參數(shù)，清除沉積于石墨盤上的各種有機(jī)金屬化合物
規(guī)格型號：
HBM650G；
HBM1000G；
作業(yè)條件：
真空壓力: 10-3 TorrDegree
作業(yè)溫度: 1360°C（最高1400°C）
氮?dú)夥謮?/span>: 0.15~25 Torr
混合氣分壓: 0.15~25 Torr(氫氣混合比:4%~15%)
制程時間: 8~15 小時
每批處理耗能: 小于100 KW/H
